第560章

会议城市在羊城。

地点放在羊城奥体中心，可容纳8万人，挤一挤十万人也是可以的。

具体的后勤保证什么，陈诺听的索然无味，便离开了。

接下来的时间里，陈诺继续刷生物科学和神经科学、脑科学的书本，如此过了两三天后，那台吃灰的7nm光刻机终于运到了中科院的一个研究所的无尘车间内。

陈诺倒是想运到未来科技实验室，可这玩意有近200吨，他们实验室可没地方安置这个庞然大物。

“怎么样，第一次看到这个大家伙震撼吧！”

周正峰指着光刻机笑了。

为了将这台光刻机从江城运到京都，一路上可是拆了好几个收费站，足足花了六七天时间才弄到这里来。

陈诺围着这台号称人类智慧集大成的产物转了几圈，外部有着真空封闭的隔板，什么也看不到。

“陈教授，我们运过来简单，但这一路上的震动等等，肯定会有很大的误差，不经过一段时间的调试，是无法使用的。”

“浪费那个时间干嘛，调试好了也要被我拆掉的。”

陈诺摆了摆手：“只要能启动就行。”

“行了，您该忙啥忙啥吧，这里交给我。对了，再给我找几个身强力壮的人来，这玩意拆起来麻烦，下午两点前报到就行。”

周正峰咧嘴笑了一下后，转身就走。

等到所有人离去后，陈诺突然道：“一号，接管光刻机系统，切断信号。”

“收到，教授！”

“教授，已经接管，完成操作！”

几秒钟后，一号就传来了回应，效率相当的高。

陈诺拿过旁边的操作说明手册开启学神附身卡看了起来。

研究的时间相当的快，当他看完操作手册后，不得不感叹光刻机制造商的牛逼，还有比制造商更牛逼的设计师们。

只是再精密，今天也难逃被他拆掉的厄运。

第一天，陈诺将内部封闭框架等给拆掉了，这样设备的作用是将工作台与外部环境隔离，保持水平，减少外界震动干扰，并维持稳定的温度、压力。

第二天，测量台、曝光台被他弄下来了，这两个称之为双工作台系统，承载硅片的工作台。

……

第七天，能量控制系统也被他拆下来了，这个玩意控制最终照射到硅片上的能量，直接影响到芯片质量。

整整七天的时间，陈诺将这台价值5亿元的光刻机拆成了十二个子系统。

他对整个光刻机的组成部分了然于心，零部件啥的他可没那个闲心去研究。

每拆一个大部分，他都会对其中的一些部件、原理、远转等研究一翻。

看着眼前被拆的七零八落的光刻机，心中满是感慨。

这种级别的光刻机真如外国的专家所说，给我们全套图纸我们也是搞不出来，一是零部件的精度问题，二是组装精度问题。

这是任何一个国家或者公司能搞定的，涉及到了光学镜头、光源、轴承等等。

说AMSL是制造商，不如说他们是设计商、组装商更为恰当，只要涉及的相关光源、镜片等等有一个卡了它，他们就彻底的完蛋。

可惜在政治的意图下，这种可能性不大。

这台光刻机使用的是FD-SOI工艺，工艺在制造过程中相对简单，但是SOI基片价格稍贵。

而陈诺的FinFET工艺制造过程更为复杂，但基片价格便宜，让两者的实际制造成本相差不大。


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